氦气检漏的原理
大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性氦气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以氦气经常被用来检漏。
其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测,通常为分子量较轻的气体，氦气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定质量，通常为氦气的质量，以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是氦气检漏的原理。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
氦气检漏仪时候氦质谱检漏仪的俗称，运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同质荷比的离子在场中彼此分开，而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接收所有这些离子，就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图，这就是质谱。
固定气体检测仪
这是在工业装置上和生产过程中使用较多的检测仪。它可以安装在特定的检测点上，对特定的气体泄漏进行检测。固定式检测器在工艺和技术上更适合于固定检测所要求的连续、长时间稳定等特点。当然，它们同样要根据现场气体的种类和浓度加以选择，同时还要注意将它们安装在特定气体可能泄漏的部位，比如要根据气体的密度选择传感器安装的有效的高度等。
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